旋片式真空泵一般使用
旋片式真空泵一般使用
旋片真空泵的抽速范圍為0.5～150升/秒（1升＝10-3米3），工作壓力范圍一般為1×105～1帕，較大抽速的壓力范圍為1×105～13帕。極限壓力：單級泵為1帕,雙級泵為6.5×10-2帕。旋片真空泵一般只適于抽除干燥或含有少量可凝性蒸汽的氣體（對于后者須裝氣鎮閥），不適于抽除含氧過高、爆炸性、腐蝕性、對泵油起化學作用和含有固體顆粒的氣體。在真空系統中，這種泵可單獨使用，或作為增壓泵、擴散泵等的前級泵。
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