電子級超純水按照電阻值來分有18兆歐、15兆歐、12兆歐和0.5兆歐4個等級,常見的電子級超純水大多是18兆歐的。工業(yè)用水中常規(guī)是監(jiān)測電阻值來判定超純水是否達到電子級級別,同時判定被清洗的零部件是否清洗達到要求潔凈度。現(xiàn)在除過判定電阻值,也可以通過水中的顆粒數(shù)來判定水的級別。
當50nm-100nm的顆粒數(shù)小于500個,100nm-200nm的顆粒小于300個,200nm-300nm間顆粒小于50個,300nm-500nm間顆粒小于20個,大于500nm的顆粒小于4個的時候,其中任何3組數(shù)值就可以判定電子超純水的級別。顆粒的判定簡化了超純水判定方式。
普洛帝測控自主研發(fā)的PMT-2液體顆粒計數(shù)器,有50nm和100nm兩款超純水檢測儀,是超純水級別判定的優(yōu)選儀器。核心部件傳感器,采用第八代雙激光窄光傳感器,雙精準流量控制-精密計量柱塞泵和超精密流量電磁控制系統(tǒng),可以對清洗劑、半導體、超純水、電子產品、平板玻璃、硅晶片等產品的在線或離線顆粒監(jiān)測和分析,目前是普洛帝測控向水質領域及微納米檢測領域的重要產品。