TAIKO螺桿式真空泵,是采用自主研發螺桿線性的干式真空泵，它低速轉動連續排氣，真空度可達到１０-1Pa。實現了極限真空度的全球*低泵浦轉速.從吸氣起到排氣采用非接觸單段壓縮,螺桿式真空泵的特點是可以高效地排除空氣或煤氣中所含有的粉塵霧粒。螺桿式真空泵結構簡單，易于保養和維修，在排除凝聚性氣體，腐蝕性氣體和反應生成物的半導體工藝中以及在硅單晶制造的抽真空等領域也發揮著威力。

檢查 、保 養
8.1 檢查、保養的一般項目
(1) 為了能夠盡早發現異常，防止事故的發生，并在發生問題時，用作判斷的依據，請充分實施好每**的檢查。實施項目請參照檢查、保養一覽表。
(2) 拆解保養需要每年實施一次，或每運行8000小時后實施一次，此時，請送至我公司或指定的業者來實施，返送前，請事先與您購買時的店鋪或我公司的營業所取得聯系。
(3) 關于特殊規格的產品，其檢查、保養時期及方**有所不同，請事先聯系咨詢我們。
(4) 其他詳細內容請參照8.3、8.4項。
8.2 潤滑油脂的更換方法
(1) 油脂
a. 請根據交貨規格書來對油種（品牌）、給油口、排油口進行確認。
b. 每3～6個月應停止泵，卸下給油口的塞子及油排放塞，使之完全排放干凈。
c. 緊閉好油排放塞子，自給油口給油至油量尺的紅色線之間，然后擰緊給油口的塞子。
(2) 含氟潤滑油
每年一次進行拆解保養時，會更換掉軸承，因此僅更換含氟潤滑油這樣的步驟是無需進行的。

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